六氟化硫氣體是各大電廠的必備氣體，六氟化硫本身是無毒氣體，但在使用過程中會產生多種有毒氣體。因此，在使用過程必須做到安全規范的操作。

1、SF6氣體中可能存在一定量的毒性分解物，在使用SF6氣體的過程中，要采取安全防護措施。
2、從鋼瓶中引出SF6氣體時，必須用減壓閥降壓。
3、避免裝有SF6氣體的鋼瓶靠近熱源或受陽光曝曬。
4、使用過的SF6氣體鋼瓶應關緊閥門，戴上瓶帽，防止剩余氣體泄漏。
5、戶外設備充裝SF6氣體時，工作人員應在上風方向操作；室內設備充裝SF6氣體時，要開啟通風系統，并盡量避免和減少SF6氣體泄漏到工作區。要求用檢漏儀做現場泄漏檢測，工作區空氣中SF6氣體含量不得超過1000μL/L。